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En la fabricación de semiconductores, incluso cantidades extremadamente pequeñas de iones metálicos, impurezas de partículas o contaminantes orgánicos pueden tener consecuencias catastróficas. Estas impurezas pueden alterar las rutas de transporte de electrones dentro del chip, aumentar la resistencia y provocar una generación excesiva de calor y una degradación del rendimiento. Las impurezas también pueden causar cortocircuitos y otros problemas, inutilizando el chip. Según investigaciones relevantes, las pérdidas de rendimiento debidas a problemas de pureza de los reactivos químicos en el proceso de fabricación de chips pueden alcanzar entre el 20 % y el 30 %, lo que sin duda supone un reto importante para la industria de los semiconductores, que busca alta precisión y alto rendimiento.

El papel clave de las bombas de accionamiento magnético en él

En todo el proceso de fabricación de semiconductores, las bombas de accionamiento magnético garantizan la continuidad del transporte de reactivos químicos. Su funcionamiento continuo y estable garantiza el suministro oportuno de los reactivos necesarios para los diferentes procesos, evitando paradas de producción por interrupciones en el suministro. Por ejemplo, en el proceso de deposición de película, es necesario suministrar continuamente gases específicos y reactivos químicos líquidos a la cámara de reacción. El funcionamiento estable de la bomba química garantiza la continuidad del proceso de deposición, permitiendo un crecimiento uniforme de la película y asegurando las propiedades eléctricas y la fiabilidad del chip.

Como bomba química muy popular en la industria de semiconductores, la principal ventaja de la bomba de accionamiento magnético reside en su diseño único sin sellos mecánicos. Utiliza un acoplamiento magnético para la transmisión de potencia, y el eje de la bomba y el eje del motor interactúan mediante fuerza magnética, sin necesidad de dispositivos de sellado mecánico tradicionales. Este diseño totalmente sellado actúa como una sólida "coraza protectora" para los reactivos químicos, eliminando fundamentalmente la posibilidad de fugas del medio. En el proceso de fabricación de semiconductores, incluso fugas extremadamente pequeñas pueden causar graves problemas de contaminación, y la aparición de las bombas magnéticas resuelve a la perfección este peligro oculto. Durante el transporte de resina fotorresistente, la bomba magnética garantiza que esta fluya de forma estable en una tubería cerrada sin fugas, garantizando así su alta pureza. En el transporte de ácido fluorhídrico de grado electrónico de alta pureza, las características completamente selladas de la bomba magnética evitan eficazmente el contacto entre el ácido fluorhídrico y el aire exterior, previenen la volatilización del ácido fluorhídrico y el daño al medio ambiente y al personal que pueden ser causados ​​por fugas y, al mismo tiempo, garantizan que la pureza del ácido fluorhídrico no se vea afectada, brindando una garantía confiable para los procesos de grabado posteriores.